功能：通过化学腐蚀剥离石英管/石英舟全表面脏污，喷淋去除石英管/石英舟表面酸残留，快速沉浸去除清洗后的石英管/石英舟水分残留。

设备采用模式：自动浸泡、定时移槽、干进干出、上下料位由专用载具、装载卸载由人工手动完成。